Приведены результаты моделирования процессов переноса неравновесных носителей заряда в германиевых структурах различной геометрической формы (параллелепипед, полный цилиндр и сфера); рассчитаны профили концентрации носителей и напряженности электрического поля, построены вольт-амперные характеристики. Проведен сравнительный анализ полученных результатов и показано их удовлетворительное согласование с экспериментальными данными.

Приведены результаты моделирования нестационарных процессов эксклюзии и аккумуляции неравновесных носителей заряда в германиевых структурах различной геометрической формы (параллелепипед, полый цилиндр, сфера). Рассчитаны профили концентрации носителей и напряженности электрического поля и изучены некоторые особенности переходных процессов при установлении стационарных режимов.

Індекс рубрикатора НБУВ: З852.5-01

Рубрики:

Напівпровідникові пристрої надвисокої частоти

Шифр НБУВ: Ж27665/рад. эл. Пошук видання у каталогах НБУВ 

Розглянуто задачу взаємодифузії в системі товста підкладка - зростаюча тонка плівка за залежних від часу граничних умов, які є типовими для основних методів епітаксійного вирощування та напилення тонких плівок. Запропонована модель дає можливість розрахувати концентрацію компонентів, що дифундують зі зростаючої плівки в підкладку та в протилежному напрямку. Досліджено деякі окремі випадки задачі взаємодифузії: зростання трикутної ями CdMnTe на підкладці CdTe, теплова деградація зростаючих надграток тощо.

Рассмотрена задача восходящей диффузии в тонкой пленке тройного сплава при постоянных граничных условиях по концентрации двух компонентов. Для каждого компонента рассчитано изменение концентрации во времени и определено влияние недиагональных членов матричного коэффициента взаимодиффузии и градиента концентрации другого компонента на интенсивность процесса. Конкретные вычисления проделаны для сплава Ni - Cr - Al.

Рассмотрена задача восходящей диффузии отдельных компонентов тройного сплава применительно к высокотемпературному отжигу неоднородных по составу тонких пленок. Точное решение задачи дало возможность рассчитать изменение концентрации каждого компонента во времени и определить влияние недиагональных членов матричного коэффициента взаимодиффузии и градиента концентрации другого компонента на интенсивность процесса. Конкретные вычисления и сравнение с экспериментом проведены для сплава Fe - Si - C.

Рассмотрена задача восходящей диффузии отдельных компонентов тройного сплава применительно к проблемам выращивания тонких пленок. Точное решение задачи дало возможность рассчитать изменение концентрации каждого компонента во времени и определить влияние недиагональных членов матричного коэффициента взаимодиффузии и градиента концентрации другого компонента на интенсивность процесса. Конкретные вычисления выполнены для сплава Fe - Si - C.